电子厂废气处理

电子厂废气来源：

电子厂的废气来源主要有两个：一是半导体设备、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用的溶剂型涂料，以及清洗工艺使用的有机脱脂剂、脱水剂、感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂的工艺环节。二是光伏行业的切割、粘结、清洗、印刷、烧结等过程，以及电子元件的注塑、喷涂/印刷、烘干、清洁等环节。

电子厂废气的处理工艺流程如下：

1、预处理阶段：一般采用喷淋塔对废气进行预处理，去除粉尘和易溶于水的有害气体。

2、经过预处理后的废气进入酸碱洗涤塔，进行酸碱废气的处理。

3、酸碱洗涤后，废气进入活性炭吸附器，活性炭具有很大的比表面积和吸附能力，能有效吸附有机物质。废气在活性炭床层中通过，有机物质被吸附到活性炭表面，实现净化效果。

4、活性炭饱和后，需要进行脱附操作，将吸附在活性炭上的有机物质去除。脱附过程一般通过加热或减压等方式实现，使吸附的有机物质解吸并转移到其他介质中，活性炭再次可用于吸附处理。

5、经过脱附的废气进入催化燃烧装置，通过催化剂的作用，在高温下将有机物质彻底氧化为无害物质，如水和二氧化碳。催化燃烧过程具有高效、彻底分解有机物质的优点。

电子厂废气处理设备的优势：

1、起燃温度低、节省能源。有机废气的催化燃烧具有点火温度低、能耗低的特点，特别是在某些情况下，催化燃烧设备也可以实现点火温度加热后不需要外面的世界。

2、适用范围广。催化燃烧设备基本上能够除去烃类中的所有有机烃和恶臭气体，另外，吸附催化燃烧法特别适用于处理有机化工、涂料、绝缘材料等工业排放的低浓度、多组分和不回收的废气，效果会很好。

3、处理效率高、无二次污染。使用催化燃烧设备法处理有机废气的净化速度基本上都超过95%，尤其是产品不伤害CO2和H2O，因为燃烧温度较低，这大大减少了氮氧化物的形成，因此不会造成二次污染。

4、工艺流程简单、设备紧凑、运行可靠。RCO采用RCO工艺净化有机废气，可同时去除多种有机污染物，具有工艺流程简单、设备紧凑、运行可靠等优点。

5、热回收效率高。RCO具有运行成本低的优势，其热回收效率一般可达95%以上。

6、净化设备可与烘箱配套使用，净化后的气体可直接循环回烘箱加热设备，达到节能减排的目的。

7、安全可靠。RCO催化燃烧设备有5个安全装置，防止事故发生。另外，电加热系统分段工作，自动跟踪温度，内置蓄热装置，节能省电。

8、采用吸附浓缩+催化燃烧的组合工艺，整个系统实现了净化和解吸过程的闭式循环，运行过程中不产生二次污染。