集成电路制造行业废气处理

集成电路制造行业废气来源:

集成电路制造行业废气主要来源是集成电路制程工艺中使用的各种化学物质。集成电路制造过程中需要使用大量的有机溶剂，如清洗剂、光刻胶、剥离液、稀释液等，这些有机溶剂在挥发过程中就会产生有机废气。

集成电路制造行业废气处理设备选择:

对于废气处理，我司已有二十余年的废气处理经验，所以我司推荐使用”沸石转轮+RTO蓄热式焚烧炉”进行处理。

集成电路制造行业废气处理流程:

先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法炉燃烧销毁，废气净化率达到96%以上。直接燃烧也称为直接火焰燃烧，它是把废气中可燃的有害组分当做燃料直接烧掉，因此这种废气处理方法适用于集成电路行业有机废气净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者是用于净化有害组分燃烧时热值较高的废气。

集成电路制造行业废气处理设备的优势:

1、高效处理效果：沸石转轮吸附技术可以将废气中的有机物质等污染物降低至极低的水平，而RTO催化燃烧技术则能将吸附后的污染物通过高温氧化分解为CO2和水，使其从原来的有害气体变成无害气体。结合起来，该技术具备高效处理废气的能力，对废气中的有害物质可做到快速彻底处理。

2、安全性高：沸石转轮+RTO焚烧炉处理废气时，沸石转轮的吸附和脱附过程都在较低的温度下进行，而RTO焚烧炉的操作温度也相对较低，因此整个处理过程安全性较高。

3、适用范围广：沸石转轮+RTO焚烧炉处理技术不仅适用于集成电路制造行业的有机废气处理，还可用于其他制造业、化工行业等产生的有机废气处理。

4、环保节能：该处理技术可回收有机废气中的能量，降低能源消耗，同时减少对环境的影响。